グロー放電発光分光分析装置 GDS950型
発光分光分析
グロー放電発光分光分析装置
GDS950
高感度な上位モデル
GDS950は、導電性、非導電性の多種多様な試料のバルク分析、深さ方向解析（CDP）をサポートした、より高精度・高分解能のモデルとなります。LECO社が独自に開発したグロー放電技術が均一で正確なスパッタリングを可能にし、非常に信頼性の高い分析性能を提供します。グロー放電の特長である低いスペクトル干渉と、GDS950の優れたスパッタ制御方法により、マトリクスに関わらず広範囲を網羅する直線的なキャリブレーションを作成することができます。
特長と利点
・均一なスパッタリングによる優れた分析性能
・自動クリーニング機構を装備
・導電性試料用のDCランプと、導電性/非導電性試料用のDC/RFランプを選択可能
・DC/RFコンビネーションランプでは、直流グロー、高周波グローの切り替えがソフトウェア上で可能
・バルク分析、深さ方向分析をサポート
・マトリクスに影響されない、直線性の良い検量線
・再循環型のアルゴンパージにより、アルゴンガス使用量を低減
・自動クリーニング機構を装備
・導電性試料用のDCランプと、導電性/非導電性試料用のDC/RFランプを選択可能
・DC/RFコンビネーションランプでは、直流グロー、高周波グローの切り替えがソフトウェア上で可能
・バルク分析、深さ方向分析をサポート
・マトリクスに影響されない、直線性の良い検量線
・再循環型のアルゴンパージにより、アルゴンガス使用量を低減
詳細仕様
| 光学部 | 焦点距離：0.75 m、1500本 / mm、リトロー型マウンティングホログラフィック ルール 回折格子 |
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| 検出器 | 32,000 active pixels ( 14.0 µm W x 0.9 mm H pixel サイズ) CCD 検出器 |
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| スペクトル範囲 | 120 nm-850 nm（装置構成によって異なります） |
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| 分解能 | 30 pm ( 0.030 nm ) |
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| 発光源 | DC: 4 mm径 グリムタイプグロー放電源（ オプション：2 mm 径） RF: 4 mm径 グリムタイプグロー放電源（ オプション：2 mm 径） |
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| 試料冷却 | 内部クローズドループ型循環式冷却システム |
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| ポンプ | ロータリーポンプ（オプション：防音カバー、ルーツ型ドライポンプ） |
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| 使用ガス | 【発光部・分光器】アルゴンガス：99.998%、0.28 MPa ±10% 【駆動ガス】空気 、窒素またはアルゴン（水分、油分を含まないこと）、0.28 MPa ±10% |
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| 設置条件 | 動作温度：18℃ー30℃ 湿度：20%～80%（結露なし） |
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| 電源容量 | 単相200 V（±10％、230 Vに昇圧して使用）、50/60 Hz、14 A（最大） |
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| 熱量 | 1,800 BTU/hr |
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| 音圧レベル | 53 dBa（ IEC / EN 61010-1基準、 オペレーター位置における最大値） |
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| 寸法・重量 | 幅：56 cm x 奥行：216 cm x 高さ：130 cm（装置のみ） / 320 kg |
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機種別パーツリスト
203-104-065
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