グロー放電発光分光分析装置 GDS950型
発光分光分析
グロー放電発光分光分析装置
GDS950
高感度な上位モデル
GDS950は、導電性、非導電性の多種多様な試料のバルク分析、深さ方向解析(CDP)をサポートした、より高精度・高分解能のモデルとなります。LECO社が独自に開発したグロー放電技術が均一で正確なスパッタリングを可能にし、非常に信頼性の高い分析性能を提供します。グロー放電の特長である低いスペクトル干渉と、GDS950の優れたスパッタ制御方法により、マトリクスに関わらず広範囲を網羅する直線的なキャリブレーションを作成することができます。
特長と利点
・均一なスパッタリングによる優れた分析性能
・自動クリーニング機構を装備
・導電性試料用のDCランプと、導電性/非導電性試料用のDC/RFランプを選択可能
・DC/RFコンビネーションランプでは、直流グロー、高周波グローの切り替えがソフトウェア上で可能
・バルク分析、深さ方向分析をサポート
・マトリクスに影響されない、直線性の良い検量線
・再循環型のアルゴンパージにより、アルゴンガス使用量を低減
・自動クリーニング機構を装備
・導電性試料用のDCランプと、導電性/非導電性試料用のDC/RFランプを選択可能
・DC/RFコンビネーションランプでは、直流グロー、高周波グローの切り替えがソフトウェア上で可能
・バルク分析、深さ方向分析をサポート
・マトリクスに影響されない、直線性の良い検量線
・再循環型のアルゴンパージにより、アルゴンガス使用量を低減
詳細仕様
光学部 | 焦点距離:0.75 m、1500本 / mm、リトロー型マウンティングホログラフィック ルール 回折格子 |
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検出器 | 32,000 active pixels ( 14.0 µm W x 0.9 mm H pixel サイズ) CCD 検出器 |
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スペクトル範囲 | 120 nm-850 nm(装置構成によって異なります) |
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分解能 | 30 pm ( 0.030 nm ) |
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発光源 | DC: 4 mm径 グリムタイプグロー放電源( オプション:2 mm 径) RF: 4 mm径 グリムタイプグロー放電源( オプション:2 mm 径) |
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試料冷却 | 内部クローズドループ型循環式冷却システム |
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ポンプ | ロータリーポンプ(オプション:防音カバー、ルーツ型ドライポンプ) |
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使用ガス | 【発光部・分光器】アルゴンガス:99.998%、0.28 MPa ±10% 【駆動ガス】空気 、窒素またはアルゴン(水分、油分を含まないこと)、0.28 MPa ±10% |
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設置条件 | 動作温度:18℃ー30℃ 湿度:20%~80%(結露なし) |
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電源容量 | 単相200 V(±10%、230 Vに昇圧して使用)、50/60 Hz、14 A(最大) |
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熱量 | 1,800 BTU/hr |
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音圧レベル | 53 dBa( IEC / EN 61010-1基準、 オペレーター位置における最大値) |
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寸法・重量 | 幅:56 cm x 奥行:216 cm x 高さ:130 cm(装置のみ) / 320 kg |
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機種別パーツリスト
203-104-065
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