発光分光分析

グロー放電発光分光分析装置

GDS850A

GDS850A型

バルク分析とQDP分析が可能な最新鋭のグロー放電発光分光分析装置

GDS850Aは、導電性材料から絶縁材料まで、多種多様な試料のバルク分析だけではなく、深さ方向(ディプス プロファイル)の定性・定量解析も実現した最新鋭のグロー放電発光分光分析装置です。独自に開発したグロー放電技術により、サンプルにかかるアルゴン圧力・電流・電圧を正確に制御することで、均一なスパッタリングが可能に。スペクトル干渉が少なく、シンプルな直線校正となっています。従来のアーク放電に比べてキャリブレーションスタンダードが少なく、安定した精度を得ることができます。

特長と利点

主な特徴

・直流グローと高周波グロー(オプション)を使い分けることにより、導電性材料から絶縁材料まで高精度の解析可能
・自動クリーニング機構を装備
・検量線は広範囲にわたって直線性を保有
・アルゴンガスの消費量を低減(0.5L / 分~0.8L / 分)
・肉厚の薄い試料や小片の試料でもサンプルホルダーを使うことにより容易に分析可能
・各種のソフトウェアをオプションで用意
・チャンネル数は最大58ch

詳細仕様

光学部 焦点距離:0.75m / f/10(パッシェン・ルンゲ型真空分光器)
回折格子 2400本/mm / 凹面解説格子(オプション:3600本/mm / 1800本/mm)
波長領域 120nm~600nm(オプション:800nm)
分解能 < 0.025nm
最大チャンネル数 58チャンネル(すべてバックグラウンド補正とマルチスキャン機能有)
高周波グローをオプションで装備した場合は56チャンネル
発光源 4mm径直流グロー放電源(オプション:2mm径 / 7mm径)
2mm径 / 4mm径高周波グロー放電源もオプションで利用可
真空部 デュアルステージ直接駆動式真空ポンプ
(不活性ガスが充填された分光器チャンバーへのポンプオイルの逆流を防止)
GDL排出用の同形式の第二ポンプを設置
試料冷却 自動水冷式パック(薄板や温度に敏感な試料分析に対応)
温度安定性 ±0.1℃の誤差で分光器チャンバーを自動温度調節
使用ガス アルゴンガス:99.998%、0.28MPa、±10%
アルゴンガスまたは窒素ガス:0.28MPa、±10%(水分・油分を含まないこと) ※駆動用ガス
設置条件 温度:10℃~30℃
相対湿度:20%~80%(結露なし)
寸法・重量 高さ:130cm、幅:140cm、奥行:87cm / 621kg
電源容量 200V~(±10%):(230Vに昇圧して使用)、50 / 60Hz、単相、13A
利用可能モデル GDS850Aは以下のモデルで構成可能です。
・シングル / デュアル分光器型
・高周波グロー放電型(非伝導性試料用) ※オプション
・バルク分析専用型
・バルク分析 / QDP併用型
・高性能真空ターボポンプ搭載

機種別パーツリスト

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