グロー放電発光分光分析装置 GDS850A型
発光分光分析
グロー放電発光分光分析装置
GDS850A
バルク分析とQDP分析が可能な最新鋭のグロー放電発光分光分析装置
GDS850Aは、導電性材料から絶縁材料まで、多種多様な試料のバルク分析だけではなく、深さ方向（ディプス プロファイル）の定性・定量解析も実現した最新鋭のグロー放電発光分光分析装置です。独自に開発したグロー放電技術により、サンプルにかかるアルゴン圧力・電流・電圧を正確に制御することで、均一なスパッタリングが可能に。スペクトル干渉が少なく、シンプルな直線校正となっています。従来のアーク放電に比べてキャリブレーションスタンダードが少なく、安定した精度を得ることができます。
特長と利点
主な特徴
・直流グローと高周波グロー（オプション）を使い分けることにより、導電性材料から絶縁材料まで高精度の解析可能
・自動クリーニング機構を装備
・検量線は広範囲にわたって直線性を保有
・アルゴンガスの消費量を低減（0.5 L/分～0.8 L/分）
・肉厚の薄い試料や小片の試料でもサンプルホルダーを使うことにより容易に分析可能
・各種のソフトウェアをオプションで用意
・チャンネル数は最大58ch
・自動クリーニング機構を装備
・検量線は広範囲にわたって直線性を保有
・アルゴンガスの消費量を低減（0.5 L/分～0.8 L/分）
・肉厚の薄い試料や小片の試料でもサンプルホルダーを使うことにより容易に分析可能
・各種のソフトウェアをオプションで用意
・チャンネル数は最大58ch
詳細仕様
| 光学部 | 焦点距離：0.75 m/f/10（パッシェン・ルンゲ型真空分光器） |
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| 回折格子 | 2400本/mm / 凹面回折格子（オプション：3600本/mm / 1800本/mm） |
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| 波長領域 | 120 nm～600 nm（オプション：800 nm） |
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| 分解能 | < 0.025 nm |
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| 最大チャンネル数 | 58チャンネル（すべてバックグラウンド補正とマルチスキャン機能有） 高周波グローをオプションで装備した場合は56チャンネル |
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| 発光源 | 4 mm径直流グロー放電源（オプション：2 mm径 / 7 mm径） 2 mm径 / 4 mm径高周波グロー放電源もオプションで利用可 |
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| 真空部 | デュアルステージ直接駆動式真空ポンプ （不活性ガスが充填された分光器チャンバーへのポンプオイルの逆流を防止） GDL排出用の同形式の第二ポンプを設置 |
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| 試料冷却 | 自動水冷式パック（薄板や温度に敏感な試料分析に対応） |
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| 温度安定性 | ±0.1℃の誤差で分光器チャンバーを自動温度調節 |
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| 使用ガス | アルゴンガス：99.998%、0.28 MPa、±10% アルゴンガスまたは窒素ガス：0.28 MPa、±10%（水分・油分を含まないこと） ※駆動用ガス |
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| 設置条件 | 温度：10℃～30℃ 相対湿度：20%～80%（結露なし） |
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| 寸法・重量 | 幅：140 cm x 奥行：87 cm x 高さ：130 cm / 621 kg |
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| 電源容量 | 単相200 V~（±10％：最大出力、230 Vに昇圧して使用）、50/60 Hz、15 A、10,300 BTU/hr |
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| 利用可能モデル | GDS850Aは以下のモデルで構成可能です。 ・シングル / デュアル分光器型 ・高周波グロー放電型（非伝導性試料用） ※オプション ・バルク分析専用型 ・バルク分析 / QDP併用型 ・高性能真空ターボポンプ搭載 |
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機種別パーツリスト
203-104-039
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