「RO-416Siによるシリコンウェハー中の酸素分析例」のアプリケーションノートです。

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1.適用試料
シリコンウェハー
2.装置及び分析法
装置:LECO 社製 RO-416Si 型 酸素分析装置
分析法:不活性ガス融解-赤外線吸収法

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RO-416Siによるシリコンウェハー中の酸素分析例