無機分析

酸素分析装置

ROSi600

ROSi600型

シリコン業界における需要に応えるために開発されました
シリコンウエハー専用酸素分析装置

ROSi600は、シリコン業界における低濃度・高精度酸素分析の需要に応えるために開発された、シリコンウエハー専用酸素分析装置です。高い精度を誇る非分散型赤外線検出器、最新のサンプルローディングシステムとプログラム可能なインパルス炉の組み合わせで正確・高精度な酸素分析を可能にします。

分析対象物
シリコンウエハー・鉄鋼等金属・その他

特長と利点

主な特徴

・低濃度用、高精度なソリッドステート赤外線検出器
・低いシステムブランクとウエハ測定用のローディングヘッドデザイン。
・測定結果はppmaでの表示も可能

その他

Windows®ベースのシステムを採用し、高い操作性を実現。

詳細仕様

分析範囲
(試料重量1g)
0.05ppm – 50ppm
※分析範囲は試料重量を変えることにより広くすることができます。
分析精度*
(試料重量1g)
標準偏差(s) 0.025ppmまたはRSD 0.5% ※いずれか大きい方
最小読取 0.01ppm
キャリブレーション 標準試料 / 1点または多点 / マニュアル *
試料重量・寸法 通常 0.2g – 0.4g(シリコンウエハー)
検出方法 非分散型赤外線検出法
試薬 ・過塩素酸マグネシウム
・酸化銅、還元銅
・水酸化ナトリウム(不活性基質にコーティング)
・酸素水分除去試薬(OMIチューブ)
使用ガス キャリアガス:ヘリウム 99.99%、0.14MPa±10%
駆動ガス:圧縮空気またはドライ窒素 0.28MPa±10%(水分・油分が含まれないこと)
ドージング:二酸化炭素 99.99%、0.14MPa±10%
ガス使用量 キャリア:450cc / 分
駆動ガス:280cc / 分析
寸法・重量 790(H)mm × 660(W)mm × 760(D)mm / 170kg
電源容量 単相200V~(±10%):(230Vに昇圧して使用)、50 / 60Hz、40A、31,400 BTU / hr

*ガスドーズ

ガスフローダイガグラム

機種別パーツリスト

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